Handlinggeräte
Handlinggeräte
Das hier gezeigte Gerät diente zum Bewegen und Verfahren von Waferscheiben. Die gesamte Konstruktion war für den Reinraumbetrieb ausgelegt und Bestandteil einer größeren und komplexeren Maschine zur Produktion von Microchips. Handlingsgeräte umfassen elektromechanische und pneumatische Antriebe und können für die unterschiedlichsten Aufgaben spezialisiert werden.